olympus奥林巴斯工业显微镜MX61A半导体显微镜
产品编号：MX61A 全自动半导体检查显微镜
市场价：￥0.00元
会员价：￥0.00元
品牌：中文
生产厂家：olympus奥林巴斯
需求数量：
始终提供最佳观察影像的光学系统
强大的缺陷检查能力
采用了新颖的光学系统（UIS2），特别增强了明视场、暗视场的性能，从而提高了辨别和确认缺陷的能力。明视场图像的色温最佳化，实现了容易误检的中性颜色的再现，暗视场图像的亮度约提高了四倍（与本公司原有产品比较）。
自动调节最佳亮度
| 亮度光圈调节示意图 |
物镜选择和观察方法切换连动，自动地调节亮度光圈。提高了观察速度并减轻疲劳。 |
对应各种设备的实时AF
| 深紫外线观察用物镜 |
MX61A装载了在对焦精度、对焦速度上性能优越的动态AF。新开发的多点方式的传感器的采用，大幅度的提高了对焦时的稳定性。在可视、深紫外线的反射光观察中，实现了追踪观察位置的实时对焦。 |
对应多种观察方法
| 物镜UIS2系列产品 |
在深紫外线到可视、近红外线观察中发挥高性能的UIS2物镜系列产品，与各种观察单元组合，可以在一台显微镜上进行明视场、暗视场、微分干涉、荧光、近红外线、深紫外线等观察。
观察方法的切换非常简单，只要从明视场、暗视场、选件镜子单元三个位置选择就可以。 |
提供扩展性的解决方案
提供扩展性的解决方案
| 适应分析需求的Analysis-Engine（分析引擎）模块 |
"显微镜控制软件"作为核心对MX61A系统全体进行控制。这个应用灵活的软件不仅能控制显微镜，还能控制数码照相机、电动载物台等外围设备。一直以来，必需进行若干个操作才能实现的高级观察方法、深紫外线观察等的切换，只要一次点击就能顺利完成。该软件进一步拓展了MX61A的扩张性，满足了不断变化的分析需求。 |
显微镜控制软件 MX2-BSW
| 显微镜控制软件显示画面 |
显微镜控制软件MX2-BSW不仅能进行各种显微镜控制和AF，还能综合控制深紫外线观察单元和电动载物台*1等。对于数码照相机*2，能够控制它的观察和记录。观看实况影像时单击需观察的地方，快速移动到视场中心、实况计量和检测、影像记录等一系列作业就能容易的得以实现。
*1对应本公司推荐的电动载物台
*2对应奥林巴斯DP21或本公司推荐的IEEE1394数码照相机
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实现对人和环境都没有危害的自动化
符合SEMI S2/S8标准
符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有关安全的基准），S8-0705（有关人体工程学的基准）和CE标识（欧洲强制性认证）等的国际标准。符合人体工程学和安全对策等，高水准的确保了可靠性。
可选的倾斜观察筒
| 倾斜观察筒示意图 |
备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒。可以根据用途选择双目部倾斜角度由水平0°到42°的、变化范围大的MX-SWETTR型号，或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。 |
洁净对应的电动物镜转换器
| 洁净对应的电动物镜转换器 |
备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器。
6孔和5孔中心补正型号的明暗视场电动物镜转换器，采用了新型马达，实现了高速安静的倍率转换。 |
高抗振本体
| 高倍率观察图像示意图 |
采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架。即便是高倍率观察，也不会出现影像模糊的情况。 |
可以触摸屏操作的手控开关
| 手控开关操作部 |
配备了触摸屏操作的手控开关，可以在检查时执行选择物镜和观察方法等多种操作。只要选择观察方法，就能得到基于登录条件的最合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。 |
帮助实现多种观察的附件
晶圆搬送机组合
| 晶圆搬送机 |
可以对应直径200 mm及以下的晶圆。新型搬送手臂的采用，实现了对90 μm极薄晶圆的搬送，能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。 |
自动载物台组合
| 自动载物台 |
备有对应300mm/200mm晶圆的高精度电动载物台。通过PC控制，可以实现高级检查、不良分析功能。 |
| 全自动半导体检查显微镜 MX61A 规格 |
| 光学系统 |
UIS2光学系统（无限远校正） |
| 机身 |
观察方法 |
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 |
| 反射/透射 |
反射 |
| 照明装置 |
机身一体型（明视场、暗视场＋1选件） |
| 照明系统 |
反射照明 |
100 W卤素/100 W水银/75 W氙 |
| 透射照明 |
– |
| 对焦单元 |
电动/手动 |
电动 |
| 行程 |
25.4 mm |
| 分辨率/微调灵敏度 |
分辨率0.01 μm |
| 最大样本高度 |
24 mm |
| 物镜转换器 |
电动型 |
明视场微分干涉6孔 |
| 明暗视场微分干涉5孔 |
| 明暗视场微分干涉6孔 |
| 明暗视场微分干涉中心补正5孔 |
| 手动式 |
– |
| 载物台 |
行程 |
14×12英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm
8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm |
| 观察筒 |
广角视场（视场数22） |
倒置 |
– |
| 正像 |
– |
| 超宽视场（视场数26.5） |
倒置 |
– |
| 正像 |
倾斜三目观察筒 |
| 附件单元 |
自动调焦/DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载 |
| 外形尺寸 |
711（W）×853（D）×552（H）mm（标准组合） |
| 重量 |
56 kg（标准组合） |
