SU1510扫描电子显微镜

主机宽度仅为55cm体型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。

特点
1. 仪器主体比过去减小20%，可以更加自由地选择安装场地。
2. 标配低真空功能，可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。
3. 可载入最大直径153mm，高度为60mm(WD=15mm)的样品，并进行元素分析。
4. 强大的鼠标控制功能，可实现电镜的所有操作。
5. 分子泵真空系统，洁净无污染。

                     SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜
   

    日立公司为分析应用推出的新型热场扫描电镜，可以提供200nA的探针电流，并且配置了VP功能，可以满足不导电样品的无蒸镀观测。

特点:
1.   最大200nA的探针电流，可满足EDX、WDX、EBSP、CL等应用
2.   配有VP功能，可自动实现压差光阑的安装和取出
3.   配有二次电子探头和背散射探头，可选配ESED
4.   大型分析型样品室，可方便的安装多种分析附件
5.   可装载150mm直径、40mm高样品
6.   电脑控制的5轴优中心马达样品台